| Module | Title | LV Type | CP | LV | Dates | Examination |
|---|
| Introduction to Micro Systems Technology | Einführung in die Mikrosystemtechnik | Fach-/Modulprüfung | 6 | 423627 | | |
| Einführung in die Mikrosystemtechnik | Vorlesung | | 418828 | Do 14:30-16:00 Online-Veranstaltung (×12) | |
| Einführung in die Mikrosystemtechnik | Übung | | 417704 | | |
| Microsystem Design | Konstruktion von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 423536 | | |
| Konstruktion von Mikrosystemen | Vorlesung/Übung | | 418293 | Do 16:30-18:00 Online-Veranstaltung (×12) | |
| Microtechnical Design | Mikrotechnische Konstruktion | Fach-/Modulprüfung | 6 | 423071 | | |
| Ultra-Precision Technology I | Ultrapräzisionstechnik I | Fach-/Modulprüfung | 6 | 420640 | | |
| Ultrapräzisionstechnik I | Vorlesung/Übung | | 420032 | | |
| Ultra-Precision Technology II | Ultrapräzisionstechnik II | Fach-/Modulprüfung | 6 | 423470 | | |